Производитель: Keyence

Описание и технические характеристики:

Keyence серии VK-X100/X200 - приборы, сочетающие в себе удобство цифрового оптического микроскопа, точность (высокие разрешение и глубина резкости), характерную для электронного микроскопа, и широкие возможности, присущие бесконтактному лазерному профилометру.

Программное обеспечение семейства VK VK-X100/X200 легко в использовании, имеет интуитивно-простой в освоении интерфейс и позволяет:

• Измерять высоту, ширину, поперечное сечение, угол или радиус любого выбранного пользователем профиля в разрезе; Выполнять бесконтактное измерение в XYZ координатах, измерения в 3D, профилометрия, неровности любой линии, а также шероховатости с большой точностью на выбранном участке объекта измерить объем, площадь поверхности и отношение участка к площади поверхности объектов;
• Проводить автоматические измерения высоты и ширины структур;
• Сравнивать наложением изображения с измерением различий объектов;

• Апохроматические объективы 10х, 20х, 50х/0,95, 150х/0,95
• Моторизованный оптический zoom от 1х до 8х
• Суммарное увеличение до 24.000х*
• Разрешение по Z - 0,0005мкм (повторямость ? 0,012мкм**)
• Диапазон измерений по Z – 7мм
• Разрешение по XY - 0,001мкм (повторямость 3? 0,02мкм***)
• 1/3” цветная CCD камера со сверх высоким разрешением (3072х2304).
• Увеличение объектива 150х, соотношение размеров матрицы и монитора 20х даёт увеличение 3000х + промежуточный оптический ZOOM даёт увеличение до 8х, итого 24000х крат
• Повторяемость ? определялась экспериментально путём многократного измерения стандарта глубины 2 мкм (объектив 50х/0,95)
• Повторямость 3? определялась экспериментально путём многократного измерения дифракционной решетки (расстояние между линиями на стандартном образце 1 мкм, объектив 150х/0,95)